常用試劑：硝酸、過氧化氫、逆王水、鹽酸、HF、王水等。
硝酸：樣品消解中最常用的酸，是一種強氧化劑，沸點（120℃）相對較低，硝酸能在微波能力下有很理想的反應能力，迅速產生氮氧化物所形成的紅褐色氣體，能破壞復雜的有機基體。
氫氟酸HF：是一種溶解硅基物料的有效溶劑。主要與硝酸混用。
鹽酸：對某些金屬氧化物及比氫更易被氧化的金屬是一種理想溶劑。